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プラズマリアクター PR510（マスフローメータ仕様）
製品の特長 - プラズマリアクター PR510（マスフローメータ仕様）
バレル式高周波低温プラズマでウエーハのレジストに
特徴 ： 低温プラズマ、バレル型の定番の装置です。オートマッチング機構の標準装備をはじめ、タッチパネル（PR510）の採用により、さらに操作性・安全性を高めた、コンパクトタイプのバレル型プラズマ処理装置です。
製品特徴 ： 大口径（φ215mm）の石英チャンバーを装備
製品特徴 ： 発振器とチャンバー部を一体化したコンパクトタイプ
製品特徴 ： 操作の簡単なタッチパネル方式（PR510型）
用途 ： ●フォトレジストの除去
●部品の洗浄 ●界面活性処理 ●マイクロ研磨 ●ウエーハ、ガラス基板に対応
仕様 - プラズマリアクター PR510（マスフローメータ仕様）
| 型式 | PR510（マスフローメータ仕様） |
|---|---|
| サイズ | 520(W)×630(D)×760mm(H) |
| 質量 | 70kg |
| 電源 | 三相AC200V 8A |
| その他 | 方式 : DP方式バレル型 高周波出力 : Max.500W 発振周波数 : 13.56MHz 同調方式 : オートチューニング 反応槽 : 石英製 φ215×305mm 反応ガス系 : 2系統（O2/CF4） 制御系 : タッチパネルからの自動シーケンス 配管系材質 : SUS、テフロン |
| メーカー希望小売価格(税別) | 8,600,000円 |
表示価格は代表的な仕様のものです。詳細はお問い合わせください。
注意事項
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