小型プラズマ装置 PR301
P1YMS1000084-1
小型プラズマ装置 PR301
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製品の特長 - 小型プラズマ装置 PR301
小型卓上バレル式高周波プラズマでサンプル表面の改質からクリーニングまで
製品特徴 : 装置寸法がコンパクトのため、設置場所を選びません。
製品特徴 : バレル型で等方性
仕様 - 小型プラズマ装置 PR301
型式 | PR301 |
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サイズ | 438(W)×520(D)×630mm(H) |
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質量 | 34kg |
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電源 | AC100VV 7A |
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その他 | 方式 : DP方式バレル型 高周波出力 : Max.300W 発振周波数 : 13.56MHz 同調方式 : 手動2軸同調方式 反応槽 : パイレックス製 φ118×160mm 反応ガス系 : 1系統(酸素)フローメータ 制御系 : 自動減圧、自動リークバルブ 配管系材質 : SUS、テフロン
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メーカー希望小売価格(税別) | 3,969,000円 |
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