PAGETOP

小型プラズマ装置 PR200

小型プラズマ装置 PR200

  • 小型プラズマ装置 PR200
  • チャンバ
  • 試料棚
メーカーヤマト科学
販売元ヤマト科学
メーカーサイト製品ページ
カタログダウンロード

※リンク先で情報を閲覧する際に、ログイン・フォーム入力等を求められる可能性がございます。

製品の特長 - 小型プラズマ装置 PR200

小型卓上バレル式高周波プラズマでサンプル表面の改質からクリーニングまで

製品特徴 : RFは200Wの高性能出力タイプです。

製品特徴 : 装置寸法がコンパクトのため、設置場所を選びません。

製品特徴 : 同調、オートチューニングのため、操作が簡単です。

製品特徴 : プラズマリアクター(アッシング装置)

仕様 - 小型プラズマ装置 PR200

型式PR200
サイズ350(W)×400(D)×500mm(H)
質量25kg
電源AC100V 14A
その他方式 : DP方式バレル型
高周波出力 : Max.200W
発振周波数 : 13.56MHz
同調方式 : オートマッチング
反応槽 : パイレックス φ100×L160mm
反応ガス系 : 1系統(酸素)フローメータ
制御系 : 手動リークバルブ
配管系材質 : SUS、テフロン
メーカー希望小売価格(税別)2,321,000円
表示価格は代表的な仕様のものです。詳細はお問い合わせください。

注意事項

  • 価格及び、サービスの仕様・内容などにつきまして、予告なしに変更されることがあります。
  • 表示している参考価格に消費税等は含まれておりません。