小型プラズマ装置 PR200
P1YMS1000085-1
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製品の特長 - 小型プラズマ装置 PR200
小型卓上バレル式高周波プラズマでサンプル表面の改質からクリーニングまで
製品特徴 : RFは200Wの高性能出力タイプです。
製品特徴 : 装置寸法がコンパクトのため、設置場所を選びません。
製品特徴 : 同調、オートチューニングのため、操作が簡単です。
製品特徴 : プラズマリアクター(アッシング装置)
仕様 - 小型プラズマ装置 PR200
型式 | PR200 |
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サイズ | 350(W)×400(D)×500mm(H) |
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質量 | 25kg |
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電源 | AC100V 14A |
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その他 | 方式 : DP方式バレル型 高周波出力 : Max.200W 発振周波数 : 13.56MHz 同調方式 : オートマッチング 反応槽 : パイレックス φ100×L160mm 反応ガス系 : 1系統(酸素)フローメータ 制御系 : 手動リークバルブ 配管系材質 : SUS、テフロン
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メーカー希望小売価格(税別) | 2,321,000円 |
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