プラズマドライクリーナー PDC210
P1YMS1000088-1
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製品の特長 - プラズマドライクリーナー PDC210
研究開発に最適な小型タイプ
製品特徴 : RIEモード・DPモード(PDC510標準装備・PDC200/210オプション)を搭載しています。
製品特徴 : プラズマは均一性に優れた平行平板の電極構造を採用しています。
製品特徴 : 操作が簡単なタッチパネル方式を使用し、データ取りも容易です。
製品特徴 : ゼロ点安定性真空計を搭載しています。
用途 : ●CSP、BGA、COB基板のプラズマ処理
●有機膜、金属酸化膜の除去
●プリント基板のドライクリーニング
●界面活性処理
●LED組み立て
仕様 - プラズマドライクリーナー PDC210
型式 | PDC210 |
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サイズ | 540(W)×600(D)×600mm(H) |
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質量 | 105kg |
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電源 | 三相 AC200 50/60HzV 6A |
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その他 | プラズマモード : RIE(DPモードオプション) 電極構造 : 平行平板(電極間固定) 高周波出力 : MAX.500W 発振周波数 : 13.56MHz 水晶発振 制御・表示(計器) : 液晶タッチパネル ステージ寸法 : 幅250×奥行170mm チャンバー材質 : アルミ製 反応ガス : 2系統(アルゴン、酸素) パージガス : 窒素、またはドライエア 反応ガス流量制御 : マスフローコントローラ 真空ポンプ : ロータリー真空ポンプ(約345L/分)標準装備 ガス導入口 : 反応ガス2個、パージ1個
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メーカー希望小売価格(税別) | 8,820,000円 |
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