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プラズマドライクリーナー PDC210

プラズマドライクリーナー PDC210

  • プラズマドライクリーナー PDC210
  • 内槽
  • 構造図
メーカーヤマト科学
販売元ヤマト科学
メーカーサイト製品ページ
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製品の特長 - プラズマドライクリーナー PDC210

研究開発に最適な小型タイプ

製品特徴 : RIEモード・DPモード(PDC510標準装備・PDC200/210オプション)を搭載しています。

製品特徴 : プラズマは均一性に優れた平行平板の電極構造を採用しています。

製品特徴 : 操作が簡単なタッチパネル方式を使用し、データ取りも容易です。

製品特徴 : ゼロ点安定性真空計を搭載しています。

用途 : ●CSP、BGA、COB基板のプラズマ処理

 ●有機膜、金属酸化膜の除去 

●プリント基板のドライクリーニング

 ●界面活性処理  ●LED組み立て

仕様 - プラズマドライクリーナー PDC210

型式PDC210
サイズ540(W)×600(D)×600mm(H)
質量105kg
電源三相 AC200 50/60HzV 6A
その他プラズマモード : RIE(DPモードオプション)
電極構造 : 平行平板(電極間固定)
高周波出力 : MAX.500W
発振周波数 : 13.56MHz 水晶発振
制御・表示(計器) : 液晶タッチパネル
ステージ寸法 : 幅250×奥行170mm
チャンバー材質 : アルミ製
反応ガス : 2系統(アルゴン、酸素)
パージガス : 窒素、またはドライエア
反応ガス流量制御 : マスフローコントローラ
真空ポンプ : ロータリー真空ポンプ(約345L/分)標準装備
ガス導入口 : 反応ガス2個、パージ1個
メーカー希望小売価格(税別)8,400,000円
表示価格は代表的な仕様のものです。詳細はお問い合わせください。

注意事項

  • 価格及び、サービスの仕様・内容などにつきまして、予告なしに変更されることがあります。
  • 表示している参考価格に消費税等は含まれておりません。