プラズマドライクリーナー PDC610
P1YMS1000089-1

プラズマドライクリーナー PDC610

プラズマ放電

内槽
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製品の特長 - プラズマドライクリーナー PDC610
多段式の小型卓上プラズマクリーナー
製品特徴 : 最高出力600Wと小型高出力タイプです。
製品特徴 : ご注文時の指定によりRIE/DPモードが選択できます。
製品特徴 : ご注文時の指定により電極1段・2段・3段の選択ができます。
製品特徴 : 縦型マガジン等の処理が可能です。
製品特徴 : オプションにより、データロガーの組み込みが可能です。
製品特徴 : オプションにより、マッチングポイント記憶機能が可能です。
用途 : ●各種材料の接着性向上、表面改質処理
●ライトアッシング、ライトエッチング処理
●実装基板ボンディング前処理
●プラスチックパッケージ前処理 ●プリント基板メッキ前処理 ●LED関連市場部品処理
●電子部品洗浄
●レジストの剥離やウエット処理後の残渣除去
●光学部品、金型、機械部品などの精密部品洗浄
●フッ素樹脂を含む樹脂表面の改質
●FCC対応
仕様 - プラズマドライクリーナー PDC610
型式 | PDC610 |
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サイズ | 600(W)×722(D)×700mm(H) |
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質量 | 180kg |
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電源 | 三相AC200 50/60HzV 15A |
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その他 | プラズマモード : RIE/DP(モード固定) 電極構造 : 3段独立平行平板(棚段固定) 高周波出力 : MAX600W 発振周波数 : 13.56MHz 制御・表示(計器) : シーケンサー・タッチパネル チャンバー材質 : A5052 反応ガス : 2系統(アルゴン、酸素) パージガス : 窒素、またはドライエア 真空ポンプ : ロータリー真空ポンプ(約345L/分)・標準装備
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