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プラズマドライクリーナー PDC610

プラズマドライクリーナー PDC610

  • プラズマドライクリーナー PDC610
  • プラズマ放電
  • 内槽
メーカーヤマト科学
販売元ヤマト科学
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製品の特長 - プラズマドライクリーナー PDC610

多段式の小型卓上プラズマクリーナー

製品特徴 : 最高出力600Wと小型高出力タイプです。

製品特徴 : ご注文時の指定によりRIE/DPモードが選択できます。

製品特徴 : ご注文時の指定により電極1段・2段・3段の選択ができます。

製品特徴 : 縦型マガジン等の処理が可能です。

製品特徴 : オプションにより、データロガーの組み込みが可能です。

製品特徴 : オプションにより、マッチングポイント記憶機能が可能です。

用途 : ●各種材料の接着性向上、表面改質処理

 ●ライトアッシング、ライトエッチング処理  ●実装基板ボンディング前処理  ●プラスチックパッケージ前処理 ●プリント基板メッキ前処理 ●LED関連市場部品処理  ●電子部品洗浄  ●レジストの剥離やウエット処理後の残渣除去  ●光学部品、金型、機械部品などの精密部品洗浄  ●フッ素樹脂を含む樹脂表面の改質  ●FCC対応

仕様 - プラズマドライクリーナー PDC610

型式PDC610
サイズ600(W)×722(D)×700mm(H)
質量180kg
電源三相AC200 50/60HzV 15A
その他プラズマモード : RIE/DP(モード固定)
電極構造 : 3段独立平行平板(棚段固定)
高周波出力 : MAX600W
発振周波数 : 13.56MHz
制御・表示(計器) : シーケンサー・タッチパネル
チャンバー材質 : A5052
反応ガス : 2系統(アルゴン、酸素)
パージガス : 窒素、またはドライエア
真空ポンプ : ロータリー真空ポンプ(約345L/分)・標準装備
メーカー希望小売価格(税別)お問い合わせ下さい
表示価格は代表的な仕様のものです。詳細はお問い合わせください。

注意事項

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  • 表示している参考価格に消費税等は含まれておりません。