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プラズマクリーナー V1000

プラズマクリーナー V1000

  • プラズマクリーナー V1000
  • 内槽
メーカーヤマト科学
販売元ヤマト科学
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製品の特長

2段式大型タイプ、クリーニングからエッチング処理まで

製品特徴 : RIE・DPの両モードを搭載しています。

製品特徴 : V1000X型は独立型の2段電極の採用により、処理効率がアップします。

製品特徴 : プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能です。

製品特徴 : 高精度マッチングユニット、信頼性の高いRF電源を採用しています。

製品特徴 : お客様のニーズに応じた仕様も制作可能です。ご相談ください。

用途 : ●シリコンウエーハのアッシング、エッチング

 ●基板のデスミア処理  ●LC/LED組み立て、BGA/CSP基板処理  ●エレクトロニクス関連部品電子材料のドライクリーニング  ●自然酸化膜・有機物の除去  ●界面活性処理  ●表面汚染物の除去

仕様

型式V1000
サイズ該当項目: なし
質量該当項目: なし
電源該当項目: なし
その他プラズマモード : DP/RIE
高周波電源 : 13.56MHz
出力(MAX) : 1,000W 電極
有効ステージ寸法 : 幅280×奥行280mm平行平板
反応ガス : マスフローコントロール2系統(パージガス系別途付き)
真空ポンプ(標準装備) 排気量 : 約1,000L/min
安全装置 : ドアSW、測板インターロック、非常停止SW、温度過昇防止器
メーカー希望小売価格(税別)お問い合わせ下さい
表示価格は代表的な仕様のものです。詳細はお問い合わせください。

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注意事項

  • 価格及び、サービスの仕様・内容などにつきまして、予告なしに変更されることがあります。
  • 表示している参考価格に消費税等は含まれておりません。