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製品の特長 - プラズマクリーナー V1000
2段式大型タイプ、クリーニングからエッチング処理まで
製品特徴 ： RIE・DPの両モードを搭載しています。
製品特徴 ： V1000X型は独立型の2段電極の採用により、処理効率がアップします。
製品特徴 ： プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能です。
製品特徴 ： 高精度マッチングユニット、信頼性の高いRF電源を採用しています。
製品特徴 ： お客様のニーズに応じた仕様も制作可能です。ご相談ください。
用途 ： ●シリコンウエーハのアッシング、エッチング
●基板のデスミア処理 ●LC/LED組み立て、BGA/CSP基板処理 ●エレクトロニクス関連部品電子材料のドライクリーニング ●自然酸化膜・有機物の除去 ●界面活性処理 ●表面汚染物の除去
仕様 - プラズマクリーナー V1000
| 型式 | V1000 |
|---|---|
| サイズ | 該当項目: なし |
| 質量 | 該当項目: なし |
| 電源 | 該当項目: なし |
| その他 | プラズマモード : DP/RIE 高周波電源 : 13.56MHz 出力（MAX） : 1,000W 電極 有効ステージ寸法 : 幅280×奥行280mm平行平板 反応ガス : マスフローコントロール2系統（パージガス系別途付き） 真空ポンプ（標準装備） 排気量 : 約1,000L/min 安全装置 : ドアSW、測板インターロック、非常停止SW、温度過昇防止器 |
| メーカー希望小売価格(税別) | お問い合わせ下さい |
表示価格は代表的な仕様のものです。詳細はお問い合わせください。
注意事項
- 価格及び、サービスの仕様・内容などにつきまして、予告なしに変更されることがあります。
- 表示している参考価格に消費税等は含まれておりません。