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プラズマアッシャー PB1000SN
製品の特長 - プラズマアッシャー PB1000SN
大型バレルタイプ、半導体プロセスに最適
製品特徴 ： アッシングに最適なDP方式のバレル型です。
製品特徴 ： 半導体プロセスに対応します。
製品特徴 ： PB1000S型は大形チャンバーを装備しています。
製品特徴 ： 簡単な設定で、自動運転が可能です。
製品特徴 ： 安全機能を充実、非常スイッチ付きです。
仕様 - プラズマアッシャー PB1000SN
| 型式 | PB1000SN |
|---|---|
| サイズ | 640(W)×850(D)×1695mm(H) |
| 質量 | 250kg |
| 電源 | 三相 200V 30A |
| その他 | プラズマモード : DP（ダイレクトプラズマ） 電極構造 : 対向電極方式（分割方式） 高周波出力 : 100～1,000W連続可 発振周波数 : 13.56MHz 水晶発振 電力増幅 : FET方式 制御・表示 : 液晶タッチパネル 同調方式 : 自動＆手動 処理時間設定 : 1秒～1時間59分59秒 反応室 : 石英製 反応室内寸法 : 径300（350～450）×長さ500（550）mm 反応部温度 : デジタル表示 反応ガス : O2、CF4他 パージガス : N2 /ドライエアー 流量計 : マスフローコントローラ 2系統 デジタル表示（CF4 0～300sccm）（O2 0～1,000sccm） 真空計 : キャパシタンスマノメータ（0～1333Pa） 真空ポンプ : ロータリ真空ポンプ 約1,000L～/min 非常停止スイッチ : 前面プッシュ式 ガス導入口 : 2個（1/4"SUS製 スウェージロック） パージガス導入口 : 1個（1/4"SUS製 スウェージロック） 真空排気口 : 1個（1SUS製 NW40 フランジ） |
| メーカー希望小売価格(税別) | お問い合わせ下さい |
表示価格は代表的な仕様のものです。詳細はお問い合わせください。
注意事項
- 価格及び、サービスの仕様・内容などにつきまして、予告なしに変更されることがあります。
- 表示している参考価格に消費税等は含まれておりません。