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プラズマアッシャー PB1000SN

プラズマアッシャー PB1000SN

    メーカーヤマト科学
    販売元ヤマト科学
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    製品の特長 - プラズマアッシャー PB1000SN

    大型バレルタイプ、半導体プロセスに最適

    製品特徴 : アッシングに最適なDP方式のバレル型です。

    製品特徴 : 半導体プロセスに対応します。

    製品特徴 : PB1000S型は大形チャンバーを装備しています。

    製品特徴 : 簡単な設定で、自動運転が可能です。

    製品特徴 : 安全機能を充実、非常スイッチ付きです。

    仕様 - プラズマアッシャー PB1000SN

    型式PB1000SN
    サイズ640(W)×850(D)×1695mm(H)
    質量250kg
    電源三相 200V 30A
    その他プラズマモード : DP(ダイレクトプラズマ)
    電極構造 : 対向電極方式(分割方式)
    高周波出力 : 100~1,000W連続可
    発振周波数 : 13.56MHz 水晶発振
    電力増幅 : FET方式
    制御・表示 : 液晶タッチパネル
    同調方式 : 自動&手動
    処理時間設定 : 1秒~1時間59分59秒
    反応室 : 石英製
    反応室内寸法 : 径300(350~450)×長さ500(550)mm
    反応部温度 : デジタル表示
    反応ガス : O2、CF4他
    パージガス : N2 /ドライエアー
    流量計 : マスフローコントローラ 2系統 デジタル表示(CF4 0~300sccm)(O2 0~1,000sccm)
    真空計 : キャパシタンスマノメータ(0~1333Pa)
    真空ポンプ : ロータリ真空ポンプ 約1,000L~/min
    非常停止スイッチ : 前面プッシュ式
    ガス導入口 : 2個(1/4"SUS製 スウェージロック)
    パージガス導入口 : 1個(1/4"SUS製 スウェージロック)
    真空排気口 : 1個(1SUS製 NW40 フランジ)
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