お気に入り
に入れる
型式 | PB600 |
---|---|
サイズ | 500(W)×700(D)×720mm(H) |
質量 | 80kg |
電源 | 三相 200V 20A |
その他 | プラズマモード : DP(ダイレクトプラズマ) 電極構造 : 対向電極方式(分割方式) 高周波出力 : 60~600W連続可変 発振周波数 : 13.56MHz 水晶発振 電力増幅 : FET方式 制御・表示 同調方式 : 自動&手動 処理時間設定 : 1秒~1時間59分59秒 反応室 : 石英製 反応室内寸法 : 径250×長さ350(400)mm 反応部温度 : デジタル表示 反応ガス : O2、CF4他 パージガス : N2/ドライエアー 流量計 : 1系統 マスフローコントローラ(O2 0~600sccm) 真空計 : キャパシタンスマノメータ(0~1333Pa) 真空ポンプ : ロータリ真空ポンプ(過負荷保護機構付)約300L/min 非常停止スイッチ : 前面プッシュ式 ガス導入口 : 1個(1/4"SUS製 スウェージロック) パージガス導入口 : 1個(1/4"SUS製 スウェージロック) 真空排気口 : 1個(1SUS製 NW25 フランジ) |
メーカー希望小売価格(税別) | お問い合わせ下さい |
注意事項