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カスタム製品 ISP500L
(ISP500LU)

カスタム製品 ISP500L (ISP500LU)

    メーカーヤマト科学
    販売元ヤマト科学
    メーカーサイト製品ページ
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    製品の特長 - カスタム製品 ISP500L

    大型基板からインラインタイプまでカスタマイズ可能

    製品特徴 : プラズマの効果UPを図るため特殊電極構造を採用

    製品特徴 : RIE・DPの2モードが使用できる

    製品特徴 : 自動制御により、操作は簡単

    製品特徴 : RF電源は高信頼性500Wの高出力

    製品特徴 : 液晶タッチパネル制御方式

    製品特徴 : 処理ワークに対して、振動など低ダメージ機構を備えている

    仕様 - カスタム製品 ISP500L

    型式ISP500L
    サイズ2000(W)×2000(D)×2000mm(H)
    質量該当項目: なし
    電源該当項目: なし
    その他プラズマモード : RIE(RIE/DP自動切り替えはオプション)
    電源(水晶発振) : 高周波電源
    高周波出力 : 50~500W
    整合器 : 自動
    電極サイズ : 幅250×奥行180mm
    ガス系 : マスフロコントローラ 1系統(2系統はオプション)
    安全装置 : 各種安全装置付き
    制御方式PLC : タッチパネル
    メーカー希望小売価格(税別)10,000,000円〜
    表示価格は代表的な仕様のものです。詳細はお問い合わせください。

    注意事項

    • 価格及び、サービスの仕様・内容などにつきまして、予告なしに変更されることがあります。
    • 表示している参考価格に消費税等は含まれておりません。