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カスタム製品 ISP500L （ISP500LU）
製品の特長 - カスタム製品 ISP500L
大型基板からインラインタイプまでカスタマイズ可能
製品特徴 ： プラズマの効果UPを図るため特殊電極構造を採用
製品特徴 ： RIE・DPの2モードが使用できる
製品特徴 ： 自動制御により、操作は簡単
製品特徴 ： RF電源は高信頼性500Wの高出力
製品特徴 ： 液晶タッチパネル制御方式
製品特徴 ： 処理ワークに対して、振動など低ダメージ機構を備えている
仕様 - カスタム製品 ISP500L
| 型式 | ISP500L |
|---|---|
| サイズ | 2000(W)×2000(D)×2000mm(H) |
| 質量 | 該当項目: なし |
| 電源 | 該当項目: なし |
| その他 | プラズマモード : RIE（RIE/DP自動切り替えはオプション） 電源（水晶発振） : 高周波電源 高周波出力 : 50～500W 整合器 : 自動 電極サイズ : 幅250×奥行180mm ガス系 : マスフロコントローラ 1系統（2系統はオプション） 安全装置 : 各種安全装置付き 制御方式PLC : タッチパネル |
| メーカー希望小売価格(税別) | お問い合わせ下さい |
表示価格は代表的な仕様のものです。詳細はお問い合わせください。
注意事項
- 価格及び、サービスの仕様・内容などにつきまして、予告なしに変更されることがあります。
- 表示している参考価格に消費税等は含まれておりません。