お気に入り
に入れる
顕微分光膜厚計 OPTMseries
P1OTD1000001-1
製品の特長 - 顕微分光膜厚計 OPTMseries
高精度かつ高速な膜厚測定
膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約
顕微分光で高精度な絶対反射率測定（多層膜厚、光学定数）
1ポイント1秒以内の高速測定
顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系（紫外～近赤外）
エリアセンサーによる安全機構
初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザードを搭載
測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載
複雑な光学定数も解析可能（複数点解析法）
300mmステージ対応可能
各種カスタマイズに対応
顕微分光で高精度な絶対反射率測定 - 顕微分光膜厚計 OPTMseries
顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。
仕様 - 顕微分光膜厚計 OPTMseries
| 型式 | OPTM |
|---|---|
| サイズ | 556(W)×566(D)×618(H) mm |
| 質量 | 66 kg |
| 電源 | AC100V±10% 500VA |
| その他 | タイプ : OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3 波長範囲 : 230～800 nm /360～1100 nm /900～1600 nm 膜厚範囲 : 1 nm～35 μm /7 nm～49 μm /16 nm～92 μm サンプルサイズ : 最大200×200×17 mm スポット径 : φ5、φ10、φ20、φ40 |
| メーカー希望小売価格(税別) | 13,800,000円 |
表示価格は代表的な仕様のものです。詳細はお問い合わせください。
注意事項
- 価格及び、サービスの仕様・内容などにつきまして、予告なしに変更されることがあります。
- 表示している参考価格に消費税等は含まれておりません。