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分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3
P1OTD1000004-1
製品の特長 - 分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3
非接触・非破壊でウェーハ厚み測定
非接触でウェーハや樹脂の厚みを高速・高精度に測定可能
高い測定再現性を実現
長いWD（ワークディスタンス）を実現し、機器への組み込みが容易
多層厚み測定が可能
テンポラリーウェーハ（仮貼り合わせウェーハ）の各層厚み測定が可能
ホスト機器からLANを使用したTCP/IP通信で制御
非破壊、超高速、高精度でウェーハ厚み測定 - 分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3
ウェーハ等の研削研磨プロセスにおいて、非接触でウェーハや樹脂の厚みを超高速・高精度に測定を行います。
仕様 - 分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3
| 型式 | SF-3 |
|---|---|
| サイズ | 123（W)×224(D)×128(H)mm |
| 質量 | 4kg |
| 電源 | DC24V（AC電源ユニット別売り） |
| その他 | ウェーハ厚み範囲 : 6～1300μｍ 測定時間 : 5ｋHz（200μsec) 光源 : 半導体光源（レーザークラス３B製品） インターフェイス : LAN、I/O入出力端子 |
| メーカー希望小売価格(税別) | お問い合わせ下さい |
表示価格は代表的な仕様のものです。詳細はお問い合わせください。
注意事項
- 価格及び、サービスの仕様・内容などにつきまして、予告なしに変更されることがあります。
- 表示している参考価格に消費税等は含まれておりません。