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ロードポート対応膜厚測定システム GS-300
P1OTD1000005-1
製品の特長 - ロードポート対応膜厚測定システム GS-300
ロードポートエリアに取り付け可能
300mmEFEMユニット予備ポートへのインテグレーションに対応
ウェーハに埋め込んだ配線パターンのパターンアライメントを実現（IRカメラ）
半導体プロセスの高スループット要求に対応
ノッチプリアライメント機能に対応
小フットプリント仕様（W475mm×D555ｍｍ）
300mmウェーハ対応の膜厚計 - ロードポート対応膜厚測定システム GS-300
300mmEFEMユニット予備ポートへのインテグレーションに対応し、パターンマッチ機能を搭載、X-Y位置決め精度２um以下の性能を有する高速高精度な膜厚計です。
仕様 - ロードポート対応膜厚測定システム GS-300
| 型式 | GS-300 |
|---|---|
| サイズ | 500(W)×500(D)×1680(H)mm |
| 質量 | 125kg（ヘッド部除く） |
| 電源 | AC200V±10% 4kVA |
| その他 | ステージ方式 : Rθステージ 光学系 : 同軸顕微ヘッド＋IRカメラ 最大ウェーハサイズ : 300mm ウェーハ角度補正 : パターンアライメント有 |
| メーカー希望小売価格(税別) | お問い合わせ下さい |
表示価格は代表的な仕様のものです。詳細はお問い合わせください。
注意事項
- 価格及び、サービスの仕様・内容などにつきまして、予告なしに変更されることがあります。
- 表示している参考価格に消費税等は含まれておりません。