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高精度な光干渉法による膜厚測定を簡単操作で実現した小型で低価格な膜厚計です。
必要な機器を本体部に収納したオールインワンタイプの筺体を採用し、安定したデータの取得を実現しました。
低価格でありながらも絶対反射率の取得により、光学定数の解析も可能です。
型式 | FE-300 |
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サイズ | 280(W)×570(D)×350(H)mm |
質量 | 24kg |
電源 | AC100V±10% 300VA |
その他 | タイプ : 薄膜測定タイプ 、標準測定タイプ 測定波長範囲 : 300nm~800nm /450nm~780nm 測定膜厚範囲(SiO2換算): 3nm~35μm /10nm~35μm スポット径: φ3mm / φ1mm 光源 : 重水素、ハロゲン サンプルサイズ : φ200mm(厚さ5mm) 測定時間 : 0.1s~10s以内 |
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