スマート膜厚計 SM-100P
P1YMS1000581-1
膜厚の測定原理:反射分光法(光干渉法)
スマート膜厚計は反射分光法(光干渉法)という方式で膜厚測定します。例えば、基板上にコーティングされた膜を測定する場合、対象サンプル上方から入射した光は膜表面で反射します(図中のR1)。さらに膜を透過した光が基板や膜界面で反射します(図中のR2)。このときの光路差による位相のずれ(位相差)によって起こる光干渉現象を測定し、得られた反射スペクトルと屈折率から膜厚を求めることが出来ます。
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製品の特長 - スマート膜厚計 SM-100P
高精度で持ち運び可能な膜厚計
スマート膜厚計とは? 「測りたい“その場”ですぐに測れない」、「人によってバラつく測定結果」、「測定精度が悪い」。膜厚を測定するときに、このような経験はありませんか?スマート膜厚計は下記のような特徴があり、皆様のお困りごとを解決します。
「持ち運び可能なハンディタイプ」:1.1 kgと軽く、持ち運びも簡単。
「高精度測定&簡単測定」:最薄0.1 μmまで検量線不要で測定できます。
「多層膜も対応」3層までの多層膜を測定できます。
「非破壊・非接触測定」:サンプルを傷つけることもなく測定します。
「様々なサンプルを測定」:基材(ガラス・プラスチック)を選ばず測定可能。
スマート膜厚計は反射分光法(光干渉法)という方式で膜厚測定します。
分かりやすく操作しやすいインターフェース スマート膜厚計はシンプルで直感的なインターフェースを採用しています。初めての方でも簡単に測定出来ます。
仕様 - スマート膜厚計 SM-100P
型式 | SM-100P |
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サイズ | 138(W)×198(D)×54mm(H) |
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質量 | 1.1kg |
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電源 | 該当項目: なし |
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その他 | 項目 : Pro 測定方法 : 反射分光法(光干渉法) 測定膜厚範囲 : 0.1~100 µm サンプル屈折率が1.6の場合 多層対応 : 最大3層 測定繰り返し性 : 2.1σ 0.01 µm(シリコン酸化膜1 µm) 測定スポット径 : Φ1 mm以下 データ出力形式 : USBメモリにテキスト形式でエクスポート
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メーカー希望小売価格(税別) | 2,500,000円 |
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注意事項
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